激光显微镜

　　测量区域 传统产品的 16 倍

　　测量时间 最快 5 秒

　　全自动测量

　　保证低倍率镜头的精度

　　Focus Variation ISO 25178-6

　　RPDII / AI 扫描

　　2 种 光 源

　　VK-X 结合使用了“激光光源”与“白色光源”2 种光源。使用激光向 XYZ方向以静音方式超高速地扫描对象表面，可获取具有高水平分别率的图像，并实现了高度测量。还可使用白色光，如光学显微镜般获取样品表面的颜色信息。

　　实现传统激光显微镜难以达到的大范围微小形状测量。

　　与传统的激光显微镜有何不同？最快 5 秒即可完成测量。

　　无需测量设定。放置后仅按一键即可准确测量微小形状。

　　在上下移动镜头的同时拍摄多张光学图像，

　　对焦点位置的高度进行拼接，从而构建出立体形状。

　　实现 12 倍的测量速度 Focus Variation *ISO 25178-6

　　Focus Variation 的测量结果

　　基于符合国家标准的可追溯性系统

　　全新光接收元件和新算法 ～RPDII～

　　刷新光接收元件和算法，降低干扰。在暗处或低倍率镜头下,也可计算出准确的 ZI 曲线。

　　从 ZI 曲线中准确地检测出反射光量最多的峰值位置。如实地将立体形状 3D 化。

　　业界超高级别 0.5 nm 线性标尺

　　利用超高精度线性标尺，对物镜的 Z 轴移动量的控制精度可达 0.5 nm。实现了可读取纳米位数高度差的超高精度测量。

　　准确性、重复性双重精度保证

　　激光共聚焦测量基于符合国家标准的可追溯性系统，在准确性和重复性两方面保证精度。

　　瞬时了解形状的“差异”3D 一览显示功能

　　3D 形状也可以并列显示，在视觉上更容易比较多个样品。还可以将并列的状态保存为图像，以便向相关人员进行说明。

　　目标位置无偏差截面测量辅助工具

　　球中心部位、圆筒中央部位、最凹陷处等目视情况下难以明确掌握的部位，VK-X 都可以准确地检测到。任何人都可以测量同一位置，从而抑制偏差。

　　针 孔 共 聚 焦 光 学 系 统

　　VK-X 采用针孔共聚焦光学系统。可通过极小针孔，完全排除焦点位置外产生的反射光、环境光，并将反射光量最多的位置识别为正确高度。不仅可通过高精度定位实现高精度测量，还可对排除了散焦部分的图像进行累积，从而实现高精细 / 高倍率观察。

　　获 得 的 3 图 像

　　激光通过 XY 扫描光学系统，在扫描前对观察视野范围进行分割，最多可分割为 2048 × 1536 pixel。在测量高度范围内重复上述步骤，并对各像素的激光光量反射数据及颜色信息数据进行匹配。仅使用正确焦点位置的颜色信息。由此，可获取高分辨率、彩色、高低图像（信息）。

　　在显微系统背面安装高硬度专用垫块后，可测量大型样品

　　电动载物台,使用高精度电动 XY 载物台后，可精准地实现导航、示范教学测量

　　及大范围图像拼接测量。

　　丰富的镜头阵容

　　可提供 2.5 倍至 150 倍的 VK-X 用镜头。基恩士提供各类镜头，包

　　括长动作距离镜头、长宽比较高的目标物用镜头等，且镜头出厂前

　　将接受特殊调整。

　　选购件

　　■ 电动 XY 载物台

　　VK-S2100

　　■ 用于 300 mm 晶片的载物台

　　OP-88231 （选购件）

　　■ VK 垫块

　　OP-88232 （选购件）

　　■ 2.5 倍物镜用环状照明

　　OP-88230 （选购件）

　　■ VK 标准量具

　　OP-88248 （选购件）

　　■ 延长电缆套件

　　OP-88249 （选购件）

　　■ 观察 / 分析软件 VK-H2X

　　■ 图像拼接应用程序 VK-H2J （选购件）

　　■ 分析功能扩展模块 VK-H1XP （选购件）

　　■ 分析微粒使用的模块 VK-H1XG （选购件）

　　■ ISO 25178 表面性状测量模块 VK-H1XR （选购件）