扫描电子显微镜

扫描电子显微镜 Helios 5 EXL DualBeam产品介绍：

Thermo Scientific Helios 5 EXL DualBeam是一种 300 mm 全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM)，设计用于解决半导体工业中的 TEM 样品制备难题。

Helios 5 EXL DualBeam扫描电子显微镜 能够为当今极为先进的工艺节点制备样品，包括子 5nm 和环绕式栅极技术。

极大提高样品处理量和生产率

Helios 5 EXL DualBeam 采用先进的机器学习和闭环端点定位，提供更高的切割放置精度，并使您能够从极具挑战性的样品中始终如一地提取高质量片晶。

先进的机器学习自动化功能使超薄 TEM 样品生成具有常规性和一致性，为以亚纳米级分辨率测量更多界面、薄膜和轮廓提供了卓越的亚纳米级洞察力。Helios 5 EXL DualBeam 通过将晶圆和缺陷导航与配方定义和执行结合在一个完全集成的程序中，确保高效和一致的 TEM 样品制备工作流程。这种自动化支持更高的工具与操作员比率，极大提高样品处理量和技术资源生产率。

扫描电子显微镜 Helios 5 EXL DualBeam主要特点

自动 TEM 样品制备软件

Thermo Scientific AutoTEM 5 软件将晶圆和缺陷导航与配方定义和执行结合在一个完全集成的程序中，确保具有不同专业水平的操作员之间的效率和一致性。AutoTEM 软件简化了 TEM 样品制备，使用户能够轻松地安排多站点作业，实现倒置、俯视和自上而下的 TEM 样品制备工作流程。

可重复、自动沉积和刻蚀

Thermo Scientific MultiChem 气体输送系统专为支持自动化 TEM 制备而开发，具有高度一致的沉积和刻蚀能力，可用于自动化应用。具有保存位置预设的电动进样针可精确定位，以优化向样品表面的可重现气体输送。MultiChem 气体输送系统的设计还具有适用性，可极大延长工具正常运行时间。

用于先进的样品制备的精密 FIB 研磨

Helios 5 EXL DualBeam 包括 Thermo Scientific Phoenix 离子柱，提供革命性的低电压性能和领先的 TEM 样品制备。

自动对齐、高分辨率和一致的结果

高性能 Thermo Scientific Elstar 电子柱采用我们独特的 UC 单色技术，提供更高的分辨率和 TEM 样品端点定位。新的 SEM 自动对齐确保多个工具和操作员的结果一致。

自动样品操作和提升

通过采用直观的方法将 TEM 样品提离并转移到栅格中，Thermo Scientific EasyLift 纳米操纵器可提供低漂移、高精度运动，可简单一致地创建传统或超薄 TEM 片晶。高精度、易用和快速电动旋转使 EasyLift 纳米操纵器非常适合高速倒置或俯视样品制备。

FAB 兼容自动化 FOUP 上样器 (AFL) 选项

可选的自动化 FOUP 上样器 (AFL) 使 Helios 5 EXL DualBeam 能够位于半导体晶片晶圆厂中。通过更接近晶片工艺线（近线），可提供比基于实验室的裂解晶片分析快三倍的关键信息，从而加速新工艺的开发并实现大批量生产的良率提升。

扫描电子显微镜 Helios 5 EXL DualBeam产品应用

半导体探索和开发

先进的电子显微镜、聚焦离束和相关半导体分析技术可用于识别制造高性能半导体器件的可行解决方案和设计方法。

良率提升和计量

我们为缺陷分析、计量学和工艺控制提供先进的分析功能，旨在帮助提高生产率并改善一系列半导体应用和设备的产量。

半导体故障分析

越来越负载的半导体器件结构导致更多隐藏故障引起的缺陷的位置。我们的新一代半导体分析工作流程可帮助您定位和表征影响量产、性能和可靠性的细微的电子问题。

物理和化学表征

持续的消费者需求推动了创建更小型、更快和更便宜的电子设备。它们的生产依赖高效的仪器和工作流程，可对多种半导体和显示设备进行电子显微镜成像、分析和表征。

扫描电子显微镜 Helios 5 EXL DualBeam产品规格：

Thermo Scientific Phoenix 离子柱

镓聚焦离子束

最大射束电流可达 65 nA

可实现高样品制备质量的低电压 (500 V) 性能

离子束在重合点和 30 kV 处的分辨率：使用首选统计方法时为 4.0 nm

离子源使用寿命：保证 1,000 小时

Thermo Scientific Elstar 电子柱

超高分辨率浸没透镜场发射 SEM (FESEM) 镜筒

超稳定肖特基场发射枪采用 UC+ 单色器技术

电子束分辨率：

15 kV 下 1.0 nm

1 kV 下 0.9 nm

电子源使用寿命：12 个月

气体输送

Thermo Scientific MultiChem 气体输送系统

适用于最多 6 种单一化学品的槽

单气体进样系统

适用于最多 3 个独立 GIS 单元的端口

检测器

Elstar 镜筒内 SE 检测器 (TLD-SE)

Elstar 镜筒内 BSE 检测器 (TLD-BSE)

用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能离子转换和电子 (ICE) 检测器

样品处理

使用 EFEM 自动处理 300 mm FOUP（符合 GEM300 标准）

手动加载 300 mm、200 mm 和 150 mm 晶片