扫描电子显微镜

Helios 5 Hydra DualBeam扫描电子显微镜产品介绍：

Helios 5 Hydra DualBeam 通过结合高通量等离子技术和高分辨率 FIB-SEM 断层扫描，开启了未经探索的全新生命科学应用领域。

由于采用具有四个离子种类的最先进电感耦合等离子体 (ICP) FIB，可为每种样品使用最佳离子束。

无论制备方法或树脂类型如何，都可为每个样品实现出色的表面质量。

除了更高的铣削通量和样品兼容性外，先进的软件套件还有助于实现一致、高质量、无 Ga 的大容量采集和 3D 数据分析。

对于生命科学研究，Helios Hydra DualBeam 提供：

无伪影铣削，无论样品制备方法如何

可达到 Ga-FIB 铣削量 10 倍的快速高效铣削

全自动 3D 数据采集，结合 Auto Slice & View 软件，可实现更高通量

使用旋转铣削，可对大型水平表面（直径不超过 1 mm）进行纳米厚度连续切片

一种适合多用户环境的多功能解决方案，兼容多种样品和实验问题

Helios 5 Hydra DualBeam 扫描电子显微镜主要特点：

应用空间广泛

独特离子源可提供以下四种快速、可切换离子种类，应用空间广泛：Xe、Ar、O、N

高通量和高质量

使用下一代 2.5 μA 等离子 FIB 色谱柱进行高通量、高质量和统计学相关的 3D 表征、交叉切片和微加工。

先进的自动化

使用选配的 AutoTEM 5 软件，以最快速轻松的方式实现自动化多点原位和非原位 TEM 样品制备以及交叉切片

高质量样品制备

由于采用新型 PFIB 色谱柱，可实现 500 V 最终抛光以及在所有操作条件下均可提供出色的性能，可以用氙、氩或氧进行高质量无镓 TEM 和 APT 样品制备。

纳米级实现周期短

借助 SmartAlign 和 FLASH 技术，任何经验水平的用户都可以最短时间获得纳米级信息

完整的样品信息

可通过多达六个集成在色谱柱内和透镜下的集成探头获得清晰、精确且无电荷对比度的最完整的样品信息

电子和离子束诱导沉积和蚀刻

通过选配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 气输送系统，在 DualBeam 系统上实现最先进的电子和离子束诱导沉积和蚀刻功能。

精确的样品导航

借助 150 mm 压电载物台的高稳定性和准确性或 110 mm 载物台的灵活性以及选配的腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机，可根据具体应用需求进行定制。

无伪影成像

基于集成的样品清洁度管理和专用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式

应用：

采用电镜进行过程控制

现代工业需求高通量、质量卓越、通过稳健的工艺控制维持平衡。SEM扫描电镜和TEM透射电镜工具结合专用的自动化软件，为过程监控和改进提供了快速、多尺度的信息。

质量控制和故障分析

质量控制和保证对于现代工业至关重要。我们提供一系列用于缺陷多尺度和多模式分析的 EM电子显微镜和光谱工具，使您可以为过程控制和改进做出可靠、明智的决策。

使用电镜进行基础材料研究

越来越小规模研究新型材料，以最大限度低控制其物理和化学特性。电子显微镜为研究人员提供了微米到纳米级各种材料特性的重要见解。

Helios 5 Hydra DualBeam 扫描电子显微镜性能数据：

电子束分辨率

在最佳 WD：1 kV 时 0.7 nm、500 V (ICD) 时 1.0 nm

在重合点：15 kV 时 0.6 nm、1 kV 时 1.2 nm

电子束参数空间

电子束电流范围：在所有加速电压下 0.8 pA 至 100 nA

加速电压范围：350 V – 30 kV

着陆能量范围：20* eV – 30 keV

最大水平射野宽度：4 mm WD 时 2.3 mm

离子光学系统

高性能 PFIB 色谱柱，具有独特的电感耦合等离子 (ICP) 源，支持四种离子种类，并具有快速切换能力

离子种类(初级离子束)：Xe、Ar、O、N

切换时间 <10 分钟，仅需软件操作

离子束电流范围：1.5 pA 至 2.5 μA

加速电压范围：500V – 30 kV

最大水平射野宽度：在等离子束重合点处为 0.9 mm

重合点时的氙离子束分辨率

<使用首选统计方法在 30 kV 时为 20 nm

使用选择性边缘方法在 30 kV 时 <10 nm

腔室

在分析 WD 时的 E 和 I 束重合点 (4 mm SEM)

端口：21

内部宽度：379 mm

集成式等离子清洁器

探头

Elstar 色谱柱镜筒内 SE/BSE 探头(TLD-SE、TLD-BSE)

Elstar 色谱柱柱内 SE/BSE 探头 (ICD)*

Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)

查看样品/色谱柱的 IR 摄像机

用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能腔室内电子和离子探头 (ICE)

腔室内 Nav-Cam 样品导航摄像机*

可伸缩、低电压、高对比度、定向、固态反向散射电子探头 (DBS)*

集成的等离子束电流测量

载物台和样品

灵活的五轴电动载物台：

XY 范围：110 mm

Z 范围：65 mm

旋转：360°(无限)

倾斜范围：-38° 至 +90°

XY 重复性：3 μm

最大样品高度：与共心点间距 85 mm

0° 倾斜时的最大样品重量：5 kg(包括样品架)

最大样品尺寸：完全旋转时 110 mm(也可以是更大的样品，但旋转有限)

计算中心旋转和倾斜

高精度五轴电动载物台，配有压电驱动的 XYR 轴

XY 范围：150 mm

Z 范围：10 mm

旋转：360°(无限)

倾斜范围：-38° 至 +60°

XY 重复性：1 μm

最大样品高度：与共心点间距 55 mm

0° 倾斜时的最大样品重量：500 g(包括样品架)

最大样品尺寸：完全旋转时 150 mm(也可以是更大的样品，但旋转有限)