聚焦离子束扫描电子显微镜产品介绍
Scios 2 DualBeam扫描电子显微镜产品介绍：
Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 是一套超高分辨率的分析 聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM) 系统，可为包括磁性和非导电材料在内的各种样品提供出色的样品制备与 3D 表征性能 。Scios 2 DualBeam 通过创新的功能设计提高了通量、精度以及易用性，是满足科学家和工程师在学术、政府以及工业研究领域高级研究和分析需求的理想解决方案。
Scios 2 DualBeam扫描电子显微镜主要特点：
快速便捷地制备高质量TEM样品
超高分辨率成像
完整的样品信息
高质量、多模式亚表面和3D信息
精确的样品导航
无伪影成像和构成图案
聚焦离子束扫描电子显微镜技术参数
电子束分辨率 | 最佳 WD |
在 30 keV STEM 下为 0.7 nm | |
在 1 keV 下为 1.4 nm | |
在 1 keV（射束减速）下为 1.2 nm | |
电子束参数空间 | 电子束电流范围：1 pA 至 400 nA |
着陆能量范围：20* eV – 30 keV | |
加速电压范围：200 V – 30 kV | |
最大水平射野宽度：7 mm WD 时为 3.0 mm，60 mm WD 时为 7.0 mm | |
可通过标准导航剪辑提供超宽视野 (1×) | |
离子光学系统 | 加速电压：500 V – 30 kV |
电子束电流范围：1.5 pA – 65 nA | |
15 位置光阑条 | |
漂移抑制模式，为非导电样品的标准模式 | |
最小离子源寿命：1,000 小时 | |
离子束分辨率：选择角方法下 30kV 时为 3.0 nm | |
检测器 | Trinity 检测系统（镜筒内和色谱柱内） |
T1 分段式下镜筒内检测器 | |
T2 上镜筒内检测器 | |
T3 可伸缩色谱柱内检测器（可选配） | |
多达 4 个同时检测的信号 | |
Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD) | |
用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能离子转换和电子检测器 (ICE)（可选配） | |
可伸缩、低电压、高对比度、分段式、固态反向散射电子检测器 (DBS)（可选配） | |
带 BF/DF/HAADF 分段的可伸缩 STEM 3+ 检测器（可选配） | |
查看样品和腔室的 IR 摄像机 | |
腔室内 Nav-Cam 样品导航摄像机（可选配） | |
集成的光束电流测量 | |
载物台和样品 | 灵活的 5 轴电动平台： |
XY 范围：110 mm | |
Z 范围：65 mm | |
旋转：360°（无限） | |
倾斜范围：-15° 至 +90° | |
XY 重复性：3 μm | |
最大样品高度：与共心点间距 85 mm | |
0° 倾斜时的最大样品重量：5 kg （包括样品架） | |
最大样品尺寸：完全旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限） | |
计算中心旋转和倾斜 |
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