超高分辨场发射扫描电镜

Verios 5 XHR SEM超高分辨扫描电镜产品介绍：

SmartAlign 技术

使用 SmartAlign 技术时，用户无需对电子束镜筒进行任何对中，这不仅能最大限度地减少维护，还能提高电镜生产率。

创新的电子光学系统

包括 Thermo Scientific 获得专利的 UC+（单色器）电子枪、ConstantPower 透镜和静电扫描，可实现准确稳定的成像。

亚纳米级分辨率Elstar Schottky 电子源单色器（UC+）FESEM 技术和性能，实现从 1 至 30 keV 的亚纳米级分辨率。

一致的测量结果

Verios 扫描电镜非常适合实验室计量应用，能够在高放大倍数下校准经 NIST 认证的标准品。

低剂量操作和最佳对比度选择

结合了先进的高灵敏度、镜筒内 & 透镜下探测器和信号过滤功能 可实现低剂量操作和最佳衬度选择。

轻松访问射束着陆能量

低至 20 eV 也可实现用于真正的表面表征的极高分辨率。

无人照看的 SEM 运行

借助 AutoScript 4 软件，可选配基于 Python 的应用程序编程界面 (API)

大腔室

可从两种高精确稳定的压电陶瓷驱动样品台中进行选择。

Verios 5 XHR SEM超高分辨扫描电镜规格：

电子束分辨率

在 30 kV STEM 下 0.6 nm（可选）

在 2-15 kV 下 0.6 nm

1 kV 时 0.7 nm

在 500 V 下 1.0 nm

标准检测器

ETD、TLD、MD、ICD、射束电流测量、Nav-Cam+、IR 摄像机

可选检测器

EDS、EBSD、RGB 阴极发光、拉曼、WDS 等

载物台偏倚（光束减速、可选）

标准配置包括高达 -4000 V

样品清洁

标配配置包括集成式等离子清洗装置

样品操纵

Verios 5 UC

5-轴电动共心载物台，配有 XYR 轴压电驱动。

XY 范围 150 x 150 mm2，70° 倾斜范围。

通过门加载

Verios 5 HP

已安装腔室

超稳定 5 轴所有压电驱动载物台。

 XY 范围 100 x 100 mm2，70° 倾斜范围。

 通过自动负载锁加载。

腔室

379 mm 内径、21 个端口

软件选项

使用划分和拼接进行自动大面积采集的 Thermo Scientific Maps 软件；相关工作

Thermo Scientific AutoScript 4 软件；基于 Python 的应用程序编程界面

图案生成软件

TopoMaps 用于图像彩色化、图像分析和 3D 表面重建