多功能高分辨场发射扫描电镜

多功能高分辨场发射扫描电镜 Apreo 2 SEM产品介绍：

多功能高分辨场发射扫描电镜Apreo SEM特点：

优异的空间分辨率及衬度

高分辨率——对于大多数样品都能达到纳米或亚纳米级别的空间分辨率。采用镜筒内同步成像、信号过滤、复合透镜等技术，帮助提升性能，达到最佳的分辨率。

广泛的样品适用性

对于多种样品类型都有极佳的样品灵活性，包括绝缘体、敏感材料、磁性材料等等。这样的灵活性帮助用户获取感兴趣样品的更多的数据。

利用ColorSEM技术实时获取定量能谱数据

只需指尖轻轻点击就可以获取元素信息，实现实时定量面分布，带来前所未有的体验与易用性。

快速简便的样品装载过程

标配的样品台可以一次性容纳多个样品，抽真空过程控制到最短时间，保证进样过程不浪费时间，更加便利地装载样品。同时配备自动插拔的压差光阑（PLA）可以实现高真空与低真空模式之间在毋须开样品仓的条件下一键切换。

高度自动化

高度自动化技术包含FLASH技术（用于自动图像微调）、撤销、用户教程、图像倾斜与拼接。

大工作距离成像

市场上唯一的在大工作距离（10mm）下仍然保持高空间分辨率（1nm)性能和优异的图像质量的扫描电镜，即使对于新手用户，也极易上手操作。

多功能高分辨场发射扫描电镜Apreo 2 SEM规格：

分辨率

30kV下0.7nm(STEM)

15kV下0.5nm(样品台减速）

1kV下0.9nm

1kV下0.8nm(样品台减速）

1kV下1.0nm（工作距离10mm，样品台减速）

500V下0.8nm(样品台减速）

200V下1.2nm(样品台减速）

30kV下0.7nm(STEM)

15kV下0.9nm(样品台减速）

1kV下1.2nm

1kV下1.0nm(样品台减速）

500V下1.2nm(样品台减速）

标配探测器

ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+

PivotBeam

选区电子通道衬度模式（也称为"摇摆光束"模式）。

选配探测器

DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼光谱、EBIC 等

ColorSEM技术（选配）

基于能谱仪（EDS)实时定量数据对扫描电镜图像进行着色。可提供的数据包含点分析、线扫描、面扫描、谱图结果及可靠的Noran定量结果

着陆能量范围

 20 eV – 30 keV

样品台偏压（样品台减速）

-4000V~+600V

低真空模式

选配：样品仓气压范围10-500Pa

样品台

五轴电动马达台，XY轴行程范围110x110mm2，倾斜范围-15°~+90°

最大样品重量：5kg(不倾斜）

最大束流

50 nA（选配 400 nA）

标准样品台

一款多功能样品台，可以容纳18个标准钉台（φ12mm),有三个预倾斜桩，截面样品台和两个STEM载位

样品仓

340mm内宽，12个端口，最多同时安装三个EDS（两个互为180°），EDS、EBSD共面安装并与样品台的倾转轴正交