3D测量显微镜在工业领域的应用

　　显微镜是微观研究领域不可或缺的重要工具，可以说正是显微镜的面世揭开了微观世界的神秘面纱。随着科技的不断发展和社会的不断进步，人们对于微观世界的认知越来越深刻也越来越清晰。这也就反向推动了显微镜作为一种不可或缺的工具的发展。

　　尤其是工业领域，随着工艺制造水平的不断进步，人们对于工业制品的要求也越来越高。对于十分精密的零部件更是如此，例如样品表面的粗糙度测量，加工工艺对于精密器件表面的影响，精密器件表面特殊处理的合格与否等等，这其实都或多或少的涉及到了元件的3D微观测量。众所周知，普通光学显微镜受可见光波长的影响，理论极限放大倍数大概在2000倍，这也就导致了测量只能停留在这个放大倍数的基础上。而光学显微镜成像是平面成像，有的软件智能处理可以实现蒙太奇式拼接，实现不同深度的样品细节再同一张图片上显示出来。但归根结底，这种拼接技术无法实现深度的精确测量。

　　而3D测量用显微镜采用比可见光波长更短的激光，打破了普通光镜的极限分辨率，使得放大倍数得到了显著地提成，精度实现了亚微米级别。运用激光共聚焦扫描模式成像，使得样品的真实3D样貌能够完整的呈现，这也解决了普通光镜无法实现深度测量的痛点。正是这些显著优点，3D测量显微镜在工业领域的应用越来越广泛。