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技术&动态

扫描电子显微镜 (SEM) 仪器 - 它是如何工作的？

作者:硬度计服务商创诚致佳

浏览量:154

发布时间:2022-03-04

内容摘要：所有 SEM 的基本组件包括以下内容：电子源（“枪”）电子透镜样品台所有感兴趣信号的检测器显示/数据输出设备基础设施要求：电源真空系统冷却系统无振动地板无环境磁场和电场的房间SEM 总是至少有一个检测器（通常是二次电子检测器），并且大多数都有额外的检测器。特定仪器的特定功能主要取决于它所容纳的检测器。应用SEM ...

所有 SEM 的基本组件包括以下内容：

电子源（“枪”）
电子透镜
样品台
所有感兴趣信号的检测器
显示/数据输出设备
基础设施要求：

电源
真空系统
冷却系统
无振动地板
无环境磁场和电场的房间

SEM 总是至少有一个检测器（通常是二次电子检测器），并且大多数都有额外的检测器。特定仪器的特定功能主要取决于它所容纳的检测器。

应用

SEM 通常用于生成物体形状 (SEI) 的高分辨率图像并显示化学成分的空间变化：1)使用EDS获取元素图或点化学分析，2) 基于平均原子序数 (通常与相对密度相关）使用BSE，以及 3) 基于微量元素“活化剂”（通常是过渡金属和稀土元素）差异的成分图，使用CL。SEM 还广泛用于基于定性化学分析和/或晶体结构来识别相。使用 SEM 还可以精确测量尺寸小至 50 nm 的非常小的特征和物体。背散射电子图像 ( BSE) 可用于快速区分多相样品中的相。配备衍射背散射电子探测器 ( EBSD ) 的 SEM 可用于检查许多材料中的微结构和晶体取向。

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