电子显微镜和光学显微镜之间的主要区别就在名称中。SEM 使用电子束而不是光束。位于显微镜顶部的电子源发射一束高度集中的电子。
在 SEM 中,存在三种不同类型的电子源:
热离子灯丝——显微镜内的钨丝被加热直到发射电子。钨丝在白热的温度下工作,这意味着它会随着时间的推移逐渐蒸发并最终断裂,从而污染电子柱的上部。钨源的平均寿命约为 100 小时,具体取决于真空度。
场发射枪 (FEG) –产生强大的电场,将电子从原子中拉开。这通常是 SEM 中更受欢迎的选择,因为它可以生成高分辨率图像,但它需要真空设计,而且价格通常很高。
六硼化铈阴极 (CeB6) –与钨相比,提供十倍的亮度,这意味着更好的信噪比和更好的分辨率。CeB6 源的使用寿命通常是钨的 15 倍以上:1500 多个小时。CeB6 光源用于所有台式 Phenom SEM 系列仪器。