S-neox三维光学轮廓仪产品介绍
S-neox 3D光学轮廓仪! 轮廓测量法是一种用于从表面提取地形数据的技术。这可以是单点扫描，线扫描甚至是完整的三维扫描。轮廓测定法的目的是获得表面形态，台阶高度和表面粗糙度。这可以使用物理探针或通过光来完成。
产品描述
主要功能
共聚焦
共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。
干涉
ª 相位差干涉 (PSI)
相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。
ª 白光干涉 (VSI)
白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。
多焦面叠加
多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的最大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（最大86°）。此功能对工件和模具测量特别有用。
※薄膜测量
用分光反射计可以完善地解决薄膜厚度测量。S neox 在增加了分光反射计后可以测量10nm的膜厚和最多10层膜。由于是通过显微镜头测量，最小的测量点为5um。因为系统里有组合的LED光源，所以实时观察和膜厚测量能同时进行。
测量及分析软件
SensoSCAN
SensoSCAN是一款简洁友好的操作软件。它将引领用户进入3D的世界，提供独一无二的用户体验。在软件界面内，用户可以直观明确地了解所用的测量方式，同时还能显示和分析数据。
强大的专业分析软件
增配SensoPRO LT 或SensoMAP软件就能轻易实现全自动测量和分析。
物镜及系统参数
请咨询我司相关销售人员，或者参考产品样本。
S-neox三维光学轮廓仪技术参数
物镜
| 明面 | 干涉 | |||||||||||||
| 放大倍数 | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | |
| 数值孔径 | 0.075 | 0.15 | 0.3 | 0.45 | 0.8 | 0.9 | 0.95 | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 | |
| 工作距离(mm) | 6.5 | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 0.2 | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 | |
| 视场范围(mm) | 7016x5280 | 3508x2640 | 1754x1320 | 877x660 | 351x264 | 175x132 | 117x88 | 7016x5280 | 3508x2640 | 1754x1320 | 877x660 | 351x264 | 175x132 | |
| 像素分辨率(mm) | 5.16 | 2.58 | 1.29 | 0.65 | 0.26 | 0.13 | 0.09 | 5.16 | 2.58 | 1.29 | 0.68 | 0.26 | 0.13 | |
| 光学分辨率(mm) | 1.87 | 0.93 | 0.46 | 0.31 | 0.17 | 0.15 | 0.14 | 1.87 | 1.07 | 0.46 | 0.35 | 0.25 | 0.2 | |
| 测量时间(s) | >3S | >3S | ||||||||||||
| 共聚焦 | PSI/ePSI/\/SI | |||||||||||||
| 纵向分辨率(nm) | 300 | 75 | 25 | 8 | 3 | 2 | 1 | PSI/ePSI 0.1nm(0.01nm with PZI) VSI 1nm | ||||||
| 最大斜率（°） | 3 | 8 | 14 | 21 | 42 | 51 | 71 | 3 | 8 | 14 | 21 | 25 | 42 | |
| 多焦面叠加 | |
| 最小可测粗糙仪 | Sa>10nm |
| 最大斜率(°) | up to 86° |
其他可选镜头
共聚焦/多焦面叠加可选：水镜，长工作距离超长工作距离、带景深调节环等镜头
干涉可选：可调分光镜
1 在2/3英寸摄像头和0.5倍放大下获得的最大视场
2 像素点间的实际尺寸
3 由瑞利准侧内*射极限的一半计算所得并用蓝色LED照明
4 改时间是用共聚焦镜头扫描21张，干涉镜头扫描10um高度所得
5 测量标准镜面并比较两次测量结果所得。
用主动式防震系统在PSI 10 相平均时测得。
0.01nm精度需要PZI 装置和恒温房间
6 官话表面测得的数据，在粗糙表面可达86°。
S-neox三维光学轮廓仪标准配置
系统配置
| CCD像素 | 1360x1024 pixels |
| LED光源 | 红（630nm）,绿（530nm）,白（550nm） |
| 样品高度 | 标准支架40mm，可调节支架150mm（更大可定制） |
| 平台尺寸 | 最大700x600mm |
| Z轴移动行程 | 标准支架40mm，PZT装置200um |
| Z轴测量范围 | PSI120um;ePSI100um;VSI10mm,共聚焦10mm，多焦面叠加37mm |
| Z轴线性度 | 标准支架<0.5um/mm,PZT装置<30nm/100um(0.03%) |
| Z轴分辨率 | 标准支架2nm，PZT装置0.75nm |
| 台阶高度重复性 | 0.1% |
| 台阶精度 | 0.5% |
| 样品反射率 | 0.05% to 100% |
| 显示分辨率 | 0.001nm |
| 电源 | 交流电100-240AC，50/60Hz |
| 电脑配置 | intel处理器，2560x1440分辨率显示器（27英寸） |
| 操作系统 | Mincrosoft Windows 7 |
| 工作环境 | 温度：10-35°，湿度<800%，海拔<2000m |
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