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半导体检测显微镜

半导体检测显微镜

半导体显微镜单元,日本三丰显微镜

遵循标准:
简介:
本半导体检测显微镜的特点:FS-70系列半导体检测显微镜单元是一款带目镜观察的小巧显微镜单元。
硬度测试
金相制样(切割,磨抛,镶嵌)
显微镜
质构仪、物性分析
橡胶制品测试
万 能试验机
环境试验箱
量具
进口打标机
红外热像仪
厚度测量
粗糙度仪
探伤仪
长度测量
汽车专用检测设备
密度浓度计
表面光学检测
三坐标测量
其他仪器设备

半导体检测显微镜产品介绍

半导体检测显微镜FS-70

• 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。

• 多种显微镜镜体通常用作适用于专业器械的OEM (原厂委制) 产品,如那些利用YAG (近红外、可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶片进行检测和修补的设备。* 不保证激光系统产品的性能和安全性。

• 应用:切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。

• 可用于红外光学系统*。应用:晶体硅的内部观察;红外光谱特征分析。* 需要红外光源和红外摄像机。

• 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。

• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。

• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。

半导体检测显微镜技术参数

 半导体检测显微镜FS-70参数

型号

FS70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70L-TH

FS70L4

FS70L4-TH

型号

FS70S

FS70-THS

FS70ZS

FS70Z-THS

FS70LS

FS70L-THS

FS70L4S

FS70L4-THS

聚焦调节

使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围

图像

正像

物镜筒镜

西登托夫型, 调节范围: 51 - 76mm

视场数

24mm

俯角

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

透过率

固定(目

镜/TV=

50%/50%)

可调型(目

镜/管径=

100%/0%:

0%/100%)

固定(目

镜/TV=

50%/50%)

可调型(目镜/管径=100%/0%:0%/100%)

防护滤光片

-

内置激光滤光片

管径镜头

1x

1x-2x放大

1x

适用激光

-

1064/532/355nm

532/266nm

相机安装端口

C-mount   (适用适配器B选件)

使用带TV接口的激光

C-mount开关

(带绿色滤光片转换开关)

照明系统

(选件)

亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑)

12V100W亮视场反射照明、无极亮度调节、光纤长度

物镜

(用于观察)

M   Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

物镜

(用于激光切割)

-

M/LCD   Plan NIR,

M/LCD   Plan NUV

M   Plan UV

载重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量(主机)

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

灯泡更换

标准: 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181)

用于光纤传导照明装置 (12V, 100W) (378-700)

注:镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量。

半导体检测显微镜标准配置


配置

序号

名称

数量

1

主机

1

2

物镜镜筒

1

3

管径镜头

1

5

照明系统(可选)
亮视场反射照明 

            (科勒照明、带孔径光阑);
           12V100W亮视场反射照明、

           无极亮度调节、光纤长度

1

6

物镜(可选)
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

1


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